《超纯半导体材料锗的获得》求取 ⇩

1．引言1

2．超纯度锗的获得——区域提纯4

一、杂质在锗中的溶解度4

二、正常凝固的缺点8

三、区域提纯11

3．锗的区域提纯的设备21

一、真空系统21

1．高真空的获得21

2．高真空的测量27

3．真空系统的连接32

4．漏气的检查35

二、加热器36

1．电炉丝加热器37

2．石墨加热器39

3．高频感应加热器39

三、移动装置46

四、舟皿47

五、透明炉管48

六、金属密封塞49

4．锗区域提纯的操作过程及应注意的事项51

一、化学清洁处理与热处理51

1．透明炉管与石英舟的化学清洁处理52

2．石墨舟的化学清洁处理52

3．石墨舟的高温热处理53

4．锗原料在提纯前的清洁处理54

二、提纯的操作步骤及应注意的事项55

一、导电的类型64

5．纯度的检验65

二、电阻率的分布66

1．双探针法测电阻率66

2．四探针法测电阻率67

三、载流子的浓度与迁移率74

附录：测量霍尔效应时一些副效应的来源及消除法83