《半导体材料和高纯金属的分析》

第一章 高纯硅及其化合物的分析1

§1-1三氯氢硅中痕量杂质的化学光谱测定1

目 录1

§1-2纯硅和二氧化硅中微量杂质的化学光谱测定4

§1-3高纯硅、二氧化硅、石英、四氯化硅、三氯硅烷中6

痕量杂质的化学光谱测定6

§1-4三氯硅烷中痕量镉、铟、铅、铜、铋的汞齐极谱10

测定10

测定（Ⅰ）11

§1-5三氯硅烷和四氯化硅中痕量硼的化学光谱11

§1-6三氯硅烷中痕量硼的化学光谱测定（Ⅱ）14

§1-7三氯硅烷含量的测定17

第二章 高纯镓、砷及其化合物的分析20

§2-1高纯镓中痕量杂质的化学光谱测定20

§2-2高纯镓中痕量铁的分光光度测定23

§2-3高纯镓中痕量金的比色测定25

§2-4高纯镓、砷和砷化镓中痕量硅的比色测定26

§2-5高纯镓中碲的方波极谱测定28

§2-6高纯镓中痕量铊和金的化学光谱测定30

§2-7高纯砷及其化合物中痕量杂质的化学光谱测定31

§2-8高纯砷中微量硫的测定34

§2-9三氯化砷中硫的测定36

§2-10砷中碲的方波极谱测定37

§2-11高纯砷中钾、钠的火焰光度测定38

§2-12高纯砷和氧化砷中痕量锡的化学光谱测定39

§2-13高纯砷中痕量锑的比色测定42

§2-14砷中硒的示波极谱测定43

§2-15砷化镓中痕量锂的火焰光度测定44

§2-16砷化镓中痕量杂质的化学光谱测定46

§2-17砷化镓中碲的方波极谱测定48

第三章 高纯锗及其化合物的分析50

§3-1 四氯化锗中痕量硼的化学光谱测定50

§3-2 四氯化锗中痕量硅的分光光度测定53

§3-3二氧化锗和四氯化锗中痕量砷的化学光谱测定54

§3-4二氧化锗中痕量杂质的化学光谱测定57

§3-5二氧化锗中痕量硼的化学光谱测定61

§3-6二氧化锗中微量硼的比色测定64

Ⅰ．目视比色法65

§3-7二氧化锗中微量硅的测定65

Ⅱ．萃取光度法66

§3-8锗及二氧化锗中痕量锑的测定68

§3-9二氧化锗中痕量钠的测定71

§3-10二氧化锗中痕量砷的测定72

第四章高纯镉、铼及其化合物的分析75

§4-1高纯镉中杂质的真空蒸发化学光谱测定75

§4-2 高纯镉中痕量硅的分光光度测定78

§4-3高纯硫化镉中痕量硅的分光光度测定79

§4-4高纯硫化镉中杂质的化学光谱测定80

§4-5金属铼中十二个痕量杂质的化学光谱测定82

§4-6高纯铼及铼酸铵中微量钾、钠、钙的火焰分光光度84

测定84

第五章 高纯铼、铟、锑、磷、镍、汞、钴、硫的分析86

§5-1高纯铼、铟、锑、磷、镍中痕量硅的分光光度测定86

§5-2高纯铟中痕量锑、镓、铊、金、铁的化学光谱测定90

§5-3高纯铟中痕量杂质的化学光谱测定93

§5-4纯汞中微量杂质的光谱测定95

§5-5纯汞中微量硅的分光光度测定97

Ⅰ．钙、镁、铝的测定99

§5-6纯金属钴的分析99

Ⅱ．镍的测定101

§5-7纯金属钴中钛的比色测定103

§5-8高纯磷中痕量杂质的化学光谱测定104

§5-9高纯硫中痕量硅的分光光度测定107

§5-10高纯三氯化锑和金属锑中十六个痕量杂质的化学光谱测定108

附录1 高纯石墨的分析110

Ⅰ．高纯石墨中微量杂质的化学光谱测定110

Ⅱ．高纯石墨中痕量硼的光谱测定113

Ⅲ．高纯石墨中痕量硼的化学光谱测定114

Ⅰ．7水117

附录2几种试剂的提纯117

Ⅱ．盐酸118

Ⅲ．硝酸119

Ⅳ．氢氟酸119

Ⅴ．氢溴酸120

Ⅵ．高氯酸121

Ⅶ．氢氧化铵121

Ⅷ．溴122

Ⅸ．异丙醚123