《用硅烷法制取半导体硅》求取 ⇩

目录1

一、概述1

(一)半导体硅的性能及用途1

(二)半导体硅的制备方法及比较3

二、硅烷的制备6

(一)硅烷的性质和用途6

(二)硅烷的制备方法12

(三)用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺27

(一)硅烷的提纯方法46

三、硅烷的提纯46

(二)采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺60

四、硅烷的热分解71

(一)硅烷热分解的反应及条件71

(二)用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺77

(三)直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺85

五、硅烷法生产中的安全防护92

(一)中毒和烧伤93

(二)防爆98

(三)防火、防触电102

(四)受压容器的安全技术104

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