《用硅烷法制取半导体硅》

作者	长沙玻璃厂，湖南省革命委员会生产指挥组科技情报服务站编编者
出版	长沙：湖南人民出版社
参考页数	106
出版时间	1971（求助前请核对）目录预览
ISBN号	15109·70 — 求助条款
PDF编号	82070748（仅供预览，未存储实际文件）
求助格式	扫描PDF（若分多册发行，每次仅能受理1册）

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目录1

一、概述1

（一）半导体硅的性能及用途1

（二）半导体硅的制备方法及比较3

二、硅烷的制备6

（一）硅烷的性质和用途6

（二）硅烷的制备方法12

（三）用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺27

（一）硅烷的提纯方法46

三、硅烷的提纯46

（二）采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺60

四、硅烷的热分解71

（一）硅烷热分解的反应及条件71

（二）用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺77

（三）直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺85

五、硅烷法生产中的安全防护92

（一）中毒和烧伤93

（二）防爆98

（三）防火、防触电102

（四）受压容器的安全技术104

1971《用硅烷法制取半导体硅》由于是年代较久的资料都绝版了，几乎不可能购买到实物。如果大家为了学习确实需要，可向博主求助其电子版PDF文件（由长沙玻璃厂，湖南省革命委员会生产指挥组科技情报服务站编 1971 长沙：湖南人民出版社出版的版本）。对合法合规的求助，我会当即受理并将下载地址发送给你。

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