《碳化硅高温半导》

目录1

1．碳化硅单晶的制备及杂质的种类和数量的控制（J．A．Lely）1

2．纯六方碳化硅晶体的制备（D．R．Hamilton）5

3．纯碳化硅的制备和性质（D．R．Hamilton）11

4．碳化硅及其在高温整流管中的应用（H．C．Chang）20

5．蒸汽法生成碳化硅晶体（A．H．Smith）28

6．碳化硅雏晶的形成（A．H．Smith）32

7．碳化硅晶种上的外延生长和单晶生长（K．M．Hergenrother,S．E．Mayer,A．I．Mlavsky）34

8．碳化硅晶体的生长过程（И．В．Каменцев）39

9．气体裂化法生长碳化硅晶体（J．T．Kendall）42

10．碳化硅的电子导电性（J．T．Kendall）47

11．碳化硅晶体、晶须和微晶（K．M．Merz）56

12．气体裂化法生长β-碳化硅晶体（V．E．Straughan,E．F．Mayer）65

13．β-碳化硅单晶的汽相生长（S．Susman,R．S．SPriggs,H．S．Weber）73

14．合成碳化硅的化学方法（W．Brenner）87

15．合金熔体中的碳化硅晶体的生长（F．A．Halden）91

16．从溶液中生长碳化硅（R．C．Ellis,Jr．）98

17．在国际碳化硅会议上关于碳化硅单晶体生长部分的总结（一）103

（P．H．Keck）103

18．在国际碳化硅会议上关于碳化硅单晶体生长部分的总结（二）105

（M．Tanenbaum）105

附录Ⅰ．半导体中杂质和不完整性的作用（J．A．Burton）108

附录Ⅱ．碳化硅的主要数据119

附录Ⅲ．碳化硅二极管的性能141