《硅烷法制取高纯硅 国外资料汇编》

作者 冶金部北京有色冶金设计院编 编者
出版 北京：科学出版社
参考页数 153
出版时间 1972（求助前请核对）  目录预览
ISBN号 无 — 求助条款
PDF编号 87454268（仅供预览，未存储实际文件）
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硅烷法制取高纯硅 国外资料汇编 1972 PDF电子版封面 冶金部北京有色冶金设计院编

目录1

第一章 硅烷的性质1

第一节 硅烷的物理和化学性质1

第二节 硅烷的热力学性质4

第二章 硅氢化合物9

第一节 硅氢健的性质及制备9

第二节 硅氢化合物及其氧化作用18

第三章 硅化镁45

第一节 硅化镁的性质45

第二节 硅化镁的合成46

第三节 硅化镁合成的影响因素与物相分析48

第一节 酸与硅化镁作用制取硅烷57

第四章 硅烷的制取57

第二节 卤化铵与硅化镁作用制取硅烷60

第三节 氢化铝锂与四氯化硅作用制取硅烷73

第五章 硅烷的提纯77

第一节 吸附提纯77

第二节 络合提纯88

第三节 水解提纯95

第四节 预热分解提纯100

第五节 精馏提纯101

第六章 硅烷热分解制取多晶硅和单晶硅116

第一节 硅烷热分解反应机理116

第二节 硅烷热分解制取多晶硅123

第三节 硅烷热分解制取单晶硅135

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