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目录1

第一章 硅烷的性质1

第一节 硅烷的物理和化学性质1

第二节 硅烷的热力学性质4

第二章 硅氢化合物9

第一节 硅氢健的性质及制备9

第二节 硅氢化合物及其氧化作用18

第三章 硅化镁45

第一节 硅化镁的性质45

第二节 硅化镁的合成46

第三节 硅化镁合成的影响因素与物相分析48

第一节 酸与硅化镁作用制取硅烷57

第四章 硅烷的制取57

第二节 卤化铵与硅化镁作用制取硅烷60

第三节 氢化铝锂与四氯化硅作用制取硅烷73

第五章 硅烷的提纯77

第一节 吸附提纯77

第二节 络合提纯88

第三节 水解提纯95

第四节 预热分解提纯100

第五节 精馏提纯101

第六章 硅烷热分解制取多晶硅和单晶硅116

第一节 硅烷热分解反应机理116

第二节 硅烷热分解制取多晶硅123

第三节 硅烷热分解制取单晶硅135

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