《表1 Au-4Pd键合合金线键合参数》

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《烧球参数对Ag-4Pd键合合金线无空气焊球性能影响的研究》

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采用准0.020 mm的Ag-4Pd键合合金线在自动键合设备上进行不同键合参数的键合试验，键合设备型号KAIJO FB-988，封装类型2835 LED，劈刀类型SPT SU-20130-415E-ZU36-E，键合参数如表1所示，键合过程中采用N2气体保护，气体流量0.6L/min，采用JEOL JSM-6700F扫描电镜对不同键合参数的Ag-4Pd键合合金线FAB形状及关键尺寸进行分析。