《表1 镀镍钯金Ro5880板楔形键合参数》
劈刀压力为设备的固有参数,在前期实验中,将键合压力设置为0.2 N能够实现良好键合。采用极差分析对结果进行分析,找出优化的工艺参数并得到影响因素的主次顺序,实验设计见表1。键合完成后,采用推拉力测试仪依据GJB 548B《微电子器件试验方法和程序》方法2011.1键合强度中3.1的规定进行键合强度的测试,金丝键合外观如图2所示。
图表编号 | XD00151070900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.18 |
作者 | 陈帅、赵文忠、张飞、赵志平 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第二十研究所、中国电子科技集团公司第二十研究所、中国电子科技集团公司第二十研究所、中国电子科技集团公司第二十研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |