《表1 镀镍钯金Ro5880板楔形键合参数》

《表1 镀镍钯金Ro5880板楔形键合参数》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《基于新型NiPbAu基底的金丝楔形键合工艺研究》


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劈刀压力为设备的固有参数,在前期实验中,将键合压力设置为0.2 N能够实现良好键合。采用极差分析对结果进行分析,找出优化的工艺参数并得到影响因素的主次顺序,实验设计见表1。键合完成后,采用推拉力测试仪依据GJB 548B《微电子器件试验方法和程序》方法2011.1键合强度中3.1的规定进行键合强度的测试,金丝键合外观如图2所示。