《表1 氩气的各种碰撞反应类型》

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《辉光放电反应腔内带电粒子瞬态物理特性仿真研究》


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电源接通后,反应腔内的种子电子与氩气分子发生碰撞电离产生电子崩,并由氩离子轰击阴极产生的二次电子发射维持着辉光放电。放电发生时,腔内可能发生的7种碰撞反应如表1所示。