《表1 氩等离子体发生的碰撞反应》

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《等离子体与高功率微波相互作用中电子分布特性》

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基于流体近似方法，本文采用COMSOL软件对波动方程、电子漂移-扩散方程和重物质传递方程进行求解，对高功率微波入射到等离子体中产生的变化进行分析[10]。计算模型如图1所示，模拟分析高功率微波对等离子体管阵列进行激励，等离子体层由左右延伸的等离子体阵列结构组成，电磁波由上边界入射传播方向为-y方向，经空气层和等离子体层，传输至完美匹配层（Perfectly Matched Layer，PML）后被完全吸收。入射电磁波的功率大小采用电场分量来表述，假设入射电磁波场强幅值为E0，频率为f，极化方向与等离子体管方向一致；然后，等离子体区域填充低气压氩气作为等离子体源体，相互作用中的碰撞粒子和反应在表1给出，等离子体区域气体温度设为T，气体压强为P。