《表1 模型中考虑的氩气反应》

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《氩气感应耦合等离子体速度与温度数值模拟》

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式中，ng为粒子g的密度（阳离子g=Ar，电子g=e-）；第二项代表粒子的通量Γg；u为速度；S代表源项；Dg、μg和E分别为扩散率，迁移率和射频（RF）电场。求解以上粒子数密度ng时所用到的化学反应动力学模型[15]列于表1中。