《表2 反应腔内氩气的主要物理参数值和初始条件》

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《辉光放电反应腔内带电粒子瞬态物理特性仿真研究》

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在图3中，虚线为图2中直角坐标系的y轴，点划线为图2中直角坐标系的x轴，其交点为坐标原点，图中灰色区域为等效求解域。根据反应腔的尺寸，等效矩形的长为0.17m，宽为0.05m，2个等效电极板表面间距为0.15m。反应腔内氩气的主要物理参数值和初始条件如表2所示。