《表3 潘宁电离率对电子密度的影响》

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《辉光放电反应腔内带电粒子瞬态物理特性仿真研究》

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设理想电源电压为400V，初始电子密度为1×1013 m-3，杂质He体积百分比分别设置为1×10-4%、1×10-3%、1×10-2%进行仿真实验。获得不同杂质体积百分比下负辉区电子密度以及距阴极0.04m正柱区内的电子密度，结果如表3所示。