《表1 气压变化对电子密度的影响》

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《低气压CF_4等离子体发射光谱分析》

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电源功率对CF4等离子体电子温度的影响曲线如图9所示。由图9可知，电源功率对电子温度的影响较小，仅在气压为10Pa时，电子温度会随电源功率的提高有较大上升。电子密度则随电源功率的增加有小幅度上升，但增幅随着气压的增加而下降。由于电子密度随气压变化幅度较小，因此当气压为30和50Pa时，气压变化较大，可以看到电子密度有明显变化（见表1）。当电源功率越高时，电子密度随气压升高而产生的降幅越大。