《表3 不同异质结MOx性能对比》

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《基于金属氧化物的乙醇检测气敏材料的研究进展》

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注:表中响应度均已换算，对于n型半导体材料，S=R0/Rg，对于p型半导体材料，S=Rg/R0，其中，R0为材料在空气中电阻，Rg为材料在乙醇气体中的电阻。

异质结通过改变材料界面性质进而提升材料乙醇响应性能，由表3可以看出，异质结的构建显著提升了材料的选择性，材料对甲醇、甲醛、丙酮、氨气的响应值明显不及乙醇。此外，无机非金属材料如高聚物、碳材料、多孔硅等也可与MOx构建异质结结构，提升材料响应度和选择性，并为柔性MOS气体传感器的构建提供参考项。