《表1 不同形貌MOx乙醇性能对比》

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《基于金属氧化物的乙醇检测气敏材料的研究进展》

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注:表中响应度均已换算，对于n型半导体材料，S=R0/Rg，对于p型半导体材料，S=Rg/R0；其中，R0为材料在空气中电阻，Rg为材料在乙醇气体中的电阻。

由上述来看，通过材料粒径调控、孔径调节、比表面积改善等结构控制，MOx对乙醇的响应得到了明显提升。将上述不同结构MOx的性能列表对比见表1，首先，SnO2对乙醇的响应一般优于ZnO、Co3O4等材料；其次，以Co3O4为例，随着材料形貌的改变、维度的增加，材料的比表面积增大，纳米片状Co3O4的性能优于Co3O4纳米线的性能，而Co3O4纳米线的性能又明显优于纳米颗粒的性能；对于三维MOx材料，乙醇响应性能又明显得到提升，尤其是分级结构材料，粒径、孔径、比表面积均得到改善，材料的最佳操作温度存在逐步降低的趋势。此外，随着薄膜技术的应用，MOx薄膜作为乙醇气敏层在室温、低温状态下的性能表现了极大的优势。材料的结构调控极大提升了材料的响应度、响应时间等性能。值得一提的是，除了采用常见的陶瓷管、陶瓷片对材料进行性能标定外，上述的薄膜材料和部分粉末材料，与微机械系统制备的微热盘结构结合制备MOS气体传感器，独特的微加热结构使传感器尺寸极大缩小，同时叉指电极又可显著降低高阻材料的测试电阻，具有极大的优势，后续第3节有详细的介绍。