《表2 不同金属掺杂MOx性能对比》

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《基于金属氧化物的乙醇检测气敏材料的研究进展》

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注:表中响应度均已换算，对于n型半导体材料，S=R0/Rg，对于p型半导体材料，S=Rg/R0，其中，R0为材料在空气中电阻，Rg为材料在乙醇气体中的电阻。

综上所述，金属掺杂是有效提升材料选择性、响应/恢复时间的方式之一。其中，贵金属掺杂MOx一方面利用贵金属的催化效应，促进氧的吸附，另一方面贵金属的加入也改变了材料的微观形貌，避免MOx的团聚，从而增加材料乙醇响应度。而对于非贵金属，掺杂后同样可利用元素催化效应增强气体分子吸脱附过程，也可改变MOx的生长、聚集状态。金属掺杂后，材料的性能明显提升，具体参数比较可见表2。