《表1 平面肖特基二极管结构参数》

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《基于平面肖特基二极管的300 GHz平衡式二倍频器》

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肖特基二极管无源部分是通过电磁仿真软件建立三维结构参数模型，根据二极管器件的半导体材料层次分布和与器件工艺相关的三维物理结构尺寸，建立肖特基二极管三维仿真模型，如图4所示。模型从上到下的层次结构参数如表1所示。