《表1 五层对称平面光波导结构参数》

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《集成光波导干涉芯片的设计及特性研究》

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将具体波导结构参数数值代入，借助导模的模式特征方程，数值计算出5层对称平面光波导结构内的模式场分布，进而优化多层光波导的设计及其结构参数.考虑到平面光波导制作的方便性、膜的质量及工艺容差，避免波导层厚度过薄，优化后得出的整个光波导各层材料膜的折射率及其相应的膜厚参数如表1所列.