《表3 光刻区域内光刻焦平面值》
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通过Minitab工具对光刻区内光刻焦平面值（表3）进行曲线方程拟合（图9），得到光刻焦平面曲线方程为
| 图表编号 | XD0051052300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.05.01 |
| 作者 | 张玉虎、徐海涛、李亚文、罗传文、曹少波、李力 |
| 绘制单位 | 合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
通过Minitab工具对光刻区内光刻焦平面值（表3）进行曲线方程拟合（图9），得到光刻焦平面曲线方程为
| 图表编号 | XD0051052300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.05.01 |
| 作者 | 张玉虎、徐海涛、李亚文、罗传文、曹少波、李力 |
| 绘制单位 | 合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司、合肥京东方光电科技有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
