《表2 光刻区域内Z补值》

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《TFT光刻平面补偿优化》

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表1为A型号产品源、漏极层在一次光刻区域内的基板载台平坦度，光刻机光刻时基板表面总倾斜补偿量为p:-3.573″，r:10.942″（本文是在excel中进行计算，将p、r转换为弧度分别为p:-0.0624/3600，r:0.1910/3600）。以弧度作为倾斜角度，则可计算出光刻区域内Z补值（表2）。