《表1 光刻区域基板载台平坦度》

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《TFT光刻平面补偿优化》

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i=0，1，2，…。式（5）、式（6）的Z补（xi）和Z补（yi）分别指表1中各x、y坐标下的Z补偿值，Tx（弧度）、Ty（弧度）分别指基板表面分别相对X、Y轴的倾斜弧度，xi、yi分别指表1中的x、y坐标，x0=-730 mm，y0=905 mm。