《表5 不同暗态均匀性程度LCM平坦度测试结果》

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LCM平坦度是在完成模组装配后的面板平坦,为了确定LCM状态平坦度与LCM基板暗态均匀性的关系,选择不同不良程度的LCM状态基板,测试其LCM平坦度,如表5所示。