《表1 干膜光刻胶的均匀性测试结果》
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使用台阶仪测量光刻胶的均匀性，结果如表1所示，120μm厚的干膜光刻胶高度为120±2μm，均匀性98.6%。
| 图表编号 | XD00212630800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.11.01 |
| 作者 | 汪郁东、赵广宏、陈青松、金小锋、张姗 |
| 绘制单位 | 北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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