《表2 旋涂参数及获得的光刻胶厚度》
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本次实验中，1000rpm/min旋涂速度得到的图形厚度在60μm左右，适当降低转速，同时延长烘烤时间。旋涂参数及可获得的光刻胶厚度，如表2所示。
| 图表编号 | XD00212630900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.11.01 |
| 作者 | 汪郁东、赵广宏、陈青松、金小锋、张姗 |
| 绘制单位 | 北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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