《表1 正/负显影液显影正性光刻胶效果对比》

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《正负性显影液显影机制简介》

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为确认正性光刻胶使用负性显影液显影具体会造成何种不良影响，安排进行了一组实验验证。实验中分别使用1.0%浓度的KOH with surfactant负性显影液，和1.0%浓度的KOH without surfactant正性显影液，对经过曝光制程后的正性光刻胶样片进行显影，并保证样片光刻胶的膜厚、pattern设计、以及其他工艺条件完全相同。对比发现使用负性显影液显影后，样片的pattern区域无法完全显开，光刻胶残留明显，显影残严重。而使用正性显影液显影的样片可显开，pattern清晰无异常，解析度非常好，如表1所示。另外，使用负性显影液显影，即使是增加正性光刻胶的曝光能量，也仍然容易造成显影不良状况发生，因此可见，若使用负性显影液去显影正性光刻胶是不可行的，因酸碱中和反应受抑制，极易造成光刻胶膨润（swell），从而大幅影响解析度。