《表1 不同旋涂条件下的胶膜厚度值》
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使用用户提供的正性光刻胶，在不同旋转速度和旋涂时间得到的胶膜厚度值统计结果如下表1所示:
| 图表编号 | XD0055731900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.06.20 |
| 作者 | 艾博、周占福、吕磊 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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