《表1 SU–8胶膜厚度均匀性》

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《雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作》

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图3为两个样片的胶厚分布，均匀性分析结果见表1。从表1中可以看出，样片A未经研磨抛光处理，两次匀胶后胶厚不均匀现象十分明显，最大厚度差为56μm，不均匀度为19.1%。而样片B经过研磨抛光处理后，胶厚不均匀性得到明显改善，最大厚度差减小到11μm，不均匀度则减小为4.1%。