《表1 工件编号及其尺寸：磁控溅射制备紧固件防咬死涂层的厚度均匀性研究》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《磁控溅射制备紧固件防咬死涂层的厚度均匀性研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

根据托卡马克装置紧固件的尺寸要求，选取相应尺寸的管状工件作为待镀工件，具体尺寸如表1所示。工件1#-8#放置在直的自转工件架的上、下两层托盘，工件架边缘距离磁控靶最小距离为100mm，摆放位置和样品编号如图所示。采用管状工件1#、2#和3#来模拟螺母镀膜实验（放置在上层托盘），圆管的中轴指向工件架中杆，通过遮挡制作台阶的条形硅片粘贴在1#-3#内壁的底部和侧壁。采用圆管状工件4#、5#、6#、7#和8#来模拟螺栓镀膜（放置在下层托盘），在圆管的外侧、前侧、后侧、内侧分别放置通过遮挡制作台阶的硅片。