《表1 彩膜车间光刻胶成分》

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《TFT-LCD制造行业VOCs排放特征及减排效果》

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从表1中可以看出，绿色光刻胶成分中除了含有丙二醇单甲醚醋酸酯、颜料、添加剂、树脂这些成分外，还含有大量的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇单甲醚，这些物质是其他胶不具备的，因而绿胶产线VOCs均值浓度偏高可能与这两种成分有关；同时对比红、蓝、黑3种颜色光刻胶成分发现，其基本物质组成基本相同，只有PGMEA成分有所差异，黑胶PGMEA的含量比另外两种胶都少很多，仅占35%～45%，而红胶、蓝胶分别为65%～73%和70%～79%，并且从图5中得知，黑胶产线的VOCs浓度最低，因而可以得出丙二醇单甲醚醋酸酯的含量对洁净间VOCs的贡献率较大。