《表2 处理2中制绒硅片的少子寿命和相对应的Voc-imp》

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《化学抛光对硅基异质结太阳电池性能的影响》

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从表1可以看出，CP133溶液温度在30℃以下时，对制绒片的钝化效果较差，退火后少子寿命提高也较小。即抛光液基本上没有起到各向同性腐蚀的作用。温度制约了化学抛光作用的发挥。因此尝试将溶液中的氢氟酸和冰乙酸配到一起，放到一个恒温50℃的水浴槽中加热15min，再加入硝酸（发烟硝酸常温下挥发性已经很强，故没有对其进行直接加热），迅速从水浴槽中拿出，放入制绒硅片进行抛光处理，用温度计测得的溶液温度约为35℃。用同样非晶硅钝化（本段所述处理简称为处理2），效果如表2所示。