《表4 处理3中制绒硅片的少子寿命及相应的Voc-imp[w (NaOH) =1%]》
从表4可以看出,随着抛光时间的增加,成为器件的硅片的少子寿命呈现先上升后下降的趋势。这是因为随着腐蚀时间的增加,金字塔谷底更加平滑,外延减少,钝化效果提升,成膜更加均匀;但是随着腐蚀时间的进一步延长,沟壑所占面积增加,而相比于(111)晶面来说,平坦的沟壑处表面因与未腐蚀前的硅片表面更加平行而使得所处表面中的(100)晶面比重更大,而(100)晶面相比于(111)晶面悬挂键密度更高,更难以钝化,而且由于金字塔偏小导致沟壑的数量密度比质量分数为2%的NaOH溶液制绒的硅片的沟壑数量密度要高,所以沟壑在整个硅片中所占比重会明显增加,以上多种因素的共同作用下,钝化效果变差。
图表编号 | XD0034845000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.03.25 |
作者 | 姜元建、张晓丹、赵颖 |
绘制单位 | 菏泽学院物理与电子工程学院、南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室、南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 |
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