《表2 三轴力传感器的标定结果Tab.2 Calibration results of triaxial force transducer》

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《动压气浮马达轴承间隙测量设备》

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在该测量设备的设计方案中，测量模块中精密位移平台的主要功能为携带测头移动到指定位置，由于最终位移的测量方式为双测头相对测量，因此该精密位移平台的定位误差不影响测量结果。在3.1.2节所述对中模式中，对中误差应包括施力模块精密位移平台运动误差和力传感器的测量误差。对中时，导轨运动实际上为双向相对运动，通过力传感器实现了闭环反馈控制，因而其带来的对中误差近似为2倍的运动分辨率，即0.2μm。三轴力传感器的标称精度为0.5%FS，但在实际使用中，测量接触力阈值F1为100g，对中接触力阈值F2<100g，均为固定值，此时三轴力传感器的实际精度应为特定测量点的标定精度。以竖直方向调心为例，力传感器测量误差即为Z向测量偏差的极差值。表2为针对100g砝码，力传感器的测量数据。由表可知，Z向测量偏差的极差为0.03N。经实验验证，在该设备目前夹持模块的刚度下，相当于位移平台移动1μm，即由力传感器测量误差造成的对中误差为1μm。其它方向结果接近，不一一列出。