《表1 测量模块的主要参数Tab.1 Key parameters of displacement measurement modules》

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《动压气浮马达轴承间隙测量设备》

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双电感测头经转接板安装在精密位移平台上。以轴向间隙测量为例，测量时控制精密位移平台移动，使并列排布的两个测头分别抵到轴端套和转子体待测端的端面，分别读取轴向测头的示数并保存；控制施力模块靠近测头运动，当接触力达到预设力F1时，停止运动；分别读取此时测头的示数，前后做差即得轴向间隙。测量模块的主要参数如表1所示。径向间隙测量时，被测面为弧面，为保证测量的准确性，采用平面测头。