《表1 TWDSMA结构的关键参数Tab.1 Key parameters of the TWDSMA structure》

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《左右分布式高灵敏硅微谐振加速度计结构设计》

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式中:kμvp为支点在轴向压力作用下的抗拉压刚度系数；kθno为输出端在弯曲力矩作用下的扭转刚度系数；kθnp为支点在弯曲力矩作用下的扭转刚度系数；kμv o为输出端在轴向压力作用下的抗拉压刚度系数；L为杠杆的输入力臂长度；l为杠杆的输出力臂长度。式（4）中的理想放大倍数为14.23倍[8]。因此，如果想要增大一级微杠杆的实际放大倍数A，则kμvo和kμvp越大越好，而kθno和kθnp越小越好。也就是说，杠杆输出与支点端都应该尽量做到轴向抗拉压并利于扭转。因此，应该从平衡这两者的轴向抗拉压刚度与扭转刚度出发，对杠杆结构和输出与支点位置的连接结构进行优化。经过进一步优化和调整，结构中较为关键的参数如表1所示。