《表3 TWDSMA结构的工作模态谐振频率Tab.3 Operating modal resonant frequency of the TWDSMA structure》

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《左右分布式高灵敏硅微谐振加速度计结构设计》

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由于硅微谐振加速度计工作模态随着加速度输入发生变化，所以通过对结构施加不同的加速度值再进行模态分析的方式可对加速度计的灵敏度进行仿真分析[7]。定义竖直向上为加速度的正方向，不同加速度值对应的工作模态谐振频率与阶数如表3所示，表中Δf为左右频率差，其拟合直线如图8所示。