《表2 内腔宽度值对盖帽封装结构模态频率的影响Table 2 Influences of the widths of inner cavity on modal frequencies of the
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由上述分析可知，随着内腔宽度尺寸的增加，封装结构的一、二阶模态频率先同时增加，随后同时减少。因此有必要对内腔宽度值1 510~1 550μm区间继续细化分析，确定封装结构模态频率变化转折点处的内腔宽度尺寸值，细化后的仿真结果如表2所示。
| 图表编号 | XD001106800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.04.15 |
| 作者 | 康强、石云波、杨志才、赵永琪、许鑫、王彦林、焦静静 |
| 绘制单位 | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电子测试技术重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电子测试技术重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电子测试技术重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电子测试技术重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电子测试技术重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电子测试技术重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学电 |
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