《表1 内腔各尺寸变化对盖帽封装结构模态频率的影响》

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《高g微机械加速度传感器芯片盖帽封装设计》

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根据自行设计的高量程微机械加速度传感器芯片尺寸，盖帽封装结构外轮廓尺寸确定为:长2 700μm，宽2 460μm。而结构内腔尺寸的选取，会直接影响盖帽封装结构的模态频率。根据高量程微机械加速度传感器封装设计要求，盖帽封装结构的模态频率应比传感器芯片工作模态的频率（490.5 kHz）大，且不能太接近。因此本文利用商用ANSYS软件仿真分析盖帽封装内腔长、宽、高及上腔壁厚等尺寸变化对封装结构一、二阶模态频率的影响，旨在设计出满足频率要求的盖帽封装结构，分析结果如表1所示。