《表2 结构前六阶振动频率Table 2 First six-order vibration frequency values of the structure》

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《基于四螺旋梁-质量块的MEMS压电能量采集器》


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忽略上下电极的影响，在器件支撑座底面施加固定约束，对模型进行网格划分，选择固有频率研究，计算固有频率。前六阶模态分析图如图3所示，前六阶振动频率值如表2所示。

图表编号XD001106000    严禁用于非法目的
绘制时间2018.01.15
作者高翔、石树正、徐方良、何剑、穆继亮、杨玉华、丑修建
绘制单位中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、河北建筑工程学院机械工程学院、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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