《表1 氮化硅的物理常数Tab.1 Physical constants of Si3N4》

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《氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工》

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试样材料选用气压烧结氮化硅（物理特性如表1），采用光学显微镜进行激光加工结果的观察测量，再利用SEM和高精度的OLS5000激光共聚焦显微镜检测试样，尤其是槽面的微观形貌和横向轮廓，对其进行分析研究。在作者发表的文献[24]中研究了水射流辅助激光加工的氮化硅高温水解过程，生成白色二氧化硅固态粉末和氨气，本文不再研究分析。