《表1 锐钛矿和金红石的光学常数[4-11]Tab.1 Optical constants of anatase and rutile[4-11]》

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《TiSiO非晶结构光学薄膜的性能调控机理研究进展》

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Note:the light propagates with anisotropic refractive index in the medium depending on the direction of propagation and polarization of light，it has two principal refractive indices denoted ne and no，respectively，where the subscripts stand for extraordi

二氧化钛（TiO2）薄膜在光学领域被广泛应用，主要是因为Ti O2出色的光学性质，比如可见光谱内的高折射率和透光率、宽帯隙、紫外光吸收强等特征[1-3]。Ti O2的光学性质与原子结构密切相关并由其决定，其中TiO2薄膜的晶相主要有锐钛矿和金红石两种结构，它们的主要光学常数[4-11]见表1。但在很多基于薄膜技术的集成光路应用（光波导）中，要求Ti O2光学薄膜具有非晶结构，并且具备均匀的形貌[12-14]，所以研究人员一直在积极探索新型材料来制备光波导[15-16]。近年来，关于TiO2与SiO2复合方面的研究引起了研究人员的兴趣[12，17-18]，将SiO2与TiO2复合可以兼顾SiO2的结构性和TiO2的功能性，制成TiSiO非晶结构光学薄膜，有望克服纯TiO2光学薄膜微观形貌与结晶方面的缺点，提高TiO2系列光学薄膜的实际应用能力[19]。目前已有多类制备工艺用于TiSiO非晶结构光学薄膜的生长，包括溶胶-凝胶法[20-24]、共溅射[25-27]、共蒸发[28-29]、金属有机化学气相沉积[30-32]和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）[33-35]。研究表明，将少量的SiO2添加到TiO2中，可以将柱状或晶体结构转变为均相和非晶相[29，36]，这非常适合提高光波导应用中TiO2光学薄膜的性能。本文以国内外最新文献为参考，主要综述了不同TiSiO光学薄膜的制备技术及其对TiSiO光学薄膜结构与光学性质的影响，以期为后续的研究提供一些可行的参考。