《表2 不同溶胶体系制备的薄膜的临界厚度、收缩率、和体积孔隙率[21]Tab.2 Critical thickness, shrinkage and volume porosity of the fi

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《TiSiO非晶结构光学薄膜的性能调控机理研究进展》

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BRUSATIN G等[21]使用甲基三乙氧基硅烷（MTES）、四乙氧基硅烷（TEOS）和四丁氧基钛酸酯（TiBOT），制备了不同的酸催化TiO2-SiO2溶胶，并且研究了其对TiSiO光学薄膜结构和性能的影响。发现薄膜都是非晶结构，但由不同溶胶制备的光学薄膜的临界厚度、收缩率和体积孔隙率有较大区别，结果如表2所示。这说明在提供Si元素的两种物质中，使用TEOS比使用MTES更易获得更薄且收缩率更小的薄膜。同时研究发现，薄膜的折射率实际上与薄膜的Si/Ti原子比和致密性密切相关，在500℃空气中退火1 h的条件下，由不同溶胶制备的光学薄膜的Si/Ti原子比、密度和折射率近似相等，其中折射率（在入射光波长为633 nm处）是1.60。该研究使用三种物质作为前驱体，采用不同的组合方式，配制出了三种不同的溶胶，对比了提供Si的两种硅烷对薄膜结构和性能的影响，这对选择合适的物质来提供Si和Ti，以使薄膜的综合性能更好具有启发意义。