《表2 原子钟核心器件不同场景下定位误差》
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实验分别在图像离焦模糊与光照不足的情况下对微器件位姿进行测量，以验证本文算法在模糊图像与曝光不足图像上的鲁棒性。微位移平台沿X轴运动，测量结果如表2。
| 图表编号 | XD00188417500 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2021.02.01 |
| 作者 | 高兴华、董登峰、王博、周维虎 |
| 绘制单位 | 中国科学院微电子研究所、中国科学院大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院大学 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
