《表3 不同场景下角度测量误差》

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《芯片级原子钟核心器件识别与位姿测量》

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不同场景下微器件旋转角度的测量结果如表3所示。实验分别从光源过度曝光、曝光不足、图像模糊等角度测试本文算法的性能。在光照正常情况下，微器件成像清晰，特征点可准确识别，角度测量误差小于0.3°。当曝光不足时，角度测量误差增加，达到0.4°。