《表1 SiO2/Si纳米薄膜厚度参数表》

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《基于粒子群-神经网络算法的纳米薄膜参数表征》

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根据图5可知，利用IPSO-NN算法模型进行反演计算，使迭代过程达到收敛状态所需的迭代次数较少。计算50 nm膜厚标准样片的折射率仅需200次迭代即可实现收敛，当计算厚度为997.7 nm膜厚标准样片的折射率时，IPSO-NN算法模型能够很好地克服大尺寸薄膜具有的周期性带来的影响，最终使计算结果收敛。且在入射波长为632.8nm时利用IPSO-NN算法模型计算的折射率相对误差小于1%，结果表明IPSO-NN算法模型能够对纳米薄膜折射率实现大范围、精确的计算。对SiO2/Si纳米薄膜厚度计算值进行分析，结果如表1所示。