《表1 半导体工艺检测单个实验考核评分标准》

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《半导体工艺检测实验教学改革与研究》

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单个实验的成绩考核占比为：课前预习15%，出勤情况5%、实验参与度10%，实验操作20%、实验数据10%，实验报告（原理、数据处理和拓展思考题）40%。注重课前预习和实验过程考核，按照学生在实验完成中的参与度分为3个等级：实验主导者，应付敷衍者和被动参与者，鼓励学生积极参与到实验中；实验报告发现雷同抄袭者绝不姑息，抄袭部分一律0分处理，详见表1。实验能力测试为实验课外的独立考试环节。