《表2 多晶硅片关键指标检验标准》
硅片加工结束后,统一使用硅片分选机对切割后的硅片质量进行检测,关键技术指标检测标准如表2所示。
图表编号 | XD0014936600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.06.20 |
作者 | 白杨丰、崔国瑞、于丽君 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
硅片加工结束后,统一使用硅片分选机对切割后的硅片质量进行检测,关键技术指标检测标准如表2所示。
图表编号 | XD0014936600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.06.20 |
作者 | 白杨丰、崔国瑞、于丽君 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |