《表1 金刚线主要切割工艺参数》

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《金刚砂均匀性对多晶切片质量的影响分析》

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为了分析钢线上金刚石的均匀性对金刚线硅片切割质量的影响程度，试验选用切割机NTC442改造金刚线切片机，统一采用70μm金刚线进行切割，采用纯水作冷却液。硅棒选择边长尺寸为157 mm的同一批次铸锭生产的多晶硅棒进行切割，加工参数采用如表1的技术参数进行工艺切割。