《表3 不同金刚砂均匀性切割质量结果》

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《金刚砂均匀性对多晶切片质量的影响分析》

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通过对三组金刚线应用相同的切割工艺进行多晶硅片切割实验，将试验的多晶硅片使用硅片分选机对相关技术指标参数进行检测，经实验，并对检测出的结果进行统计分析，得到数据对比见表3。