《表1 粗调校准实验数据》
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在已知晶圆转正后角度数值的前提下，手动旋转工作台将晶圆位于任意初始角度，然后运行程序进行粗调校准，进行十次实验，数据如表1所示（实际目标值为2.354°）。
| 图表编号 | XD0014936800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.06.20 |
| 作者 | 张乾、张永昌、邓胜强、谭立杰 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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