《表2 精调校准实验数据》

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《激光划片机的晶圆自动对准方法研究》

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每次实验前先手动对准晶圆并获取对准角度，然后下料重新运行识别流程，第二次实验时手动旋转晶圆，改变晶圆的初始角度并再次手动对准获取旋转对正的角度，以模拟实际加工中晶圆方向存在的不确定性。进行10次实验，实验数据见表2。